ساخت ابزار فیلم الماس (CVD)

تولید فیلم های الماس (از جمله فیلم های نازک و ضخیم) با استفاده از رسوب بخار شیمیایی یا روش های رسوب بخار فیزیکی مورد توجه بسیاری از کشورها قرار گرفته است ، عمدتا به دلیل اثرات کاربردی و ارزش قابل توجه آن در پردازش مکانیکی ، اپتیک ، فناوری میکروالکترونیک و سایر زمینه ها.

 

 

ابزارهای برش فیلم الماس (CVD) به دلیل ساختار ایزوتروپیک و پلی کریستالی و کنترل اندازه آسان ، توانایی حمل بسترها (با بسترهای آلیاژ سخت برای جوشکاری آسان) و پردازش میکرو تیغه لایه های پلی کریستالی ، مزایای ماشینکاری زیادی دارند. آنها می توانند به طور کامل فرآیند تولید پیچیده و ابزارهای برش الماس کریستالی تک طبیعی گران قیمت را در زمینه ماشینکاری دقیق جایگزین کنند.

 

ابزارهای برش CVD را می توان با استفاده از فرآیندهای پر سرعت و زیاد سرعت خوراک پردازش کرد و در ماشینکاری تهاجمی به خصوص برای فیلم های الماس با بسترهای SIC به راحتی آسیب نمی بینند. سازگاری بین این دو خوب است و لایه فیلم در هنگام استفاده به راحتی از بین نمی رود. در عین حال ، مقاومت در برابر ضربه لایه بستر و فیلم بسیار زیاد است ، که می تواند جایگزین ابزارهای برش PDC برای ماشینکاری دقیق و ماشینکاری نیمه دقیق نیز شود. البته ، ابزارهای برش آلیاژ سخت بدون پوشش و ابزارهای برش سرامیکی غیرقابل مقایسه هستند.

 

برای ساختن ابزارهای برش با استفاده از فیلم الماس ، اولین قدم انجام برش است. مؤثرترین روش برش برش لیزر است که مزایای درزهای برش باریک و راندمان بالا را دارد. اما لازم است هوا را قطع کنید تا هیچ باقی مانده روی برش باقی نمانده باشد. اگر از گاز محافظ مانند آرگون استفاده شود ، خوب نیست زیرا محصولات گرافیتی به برش پایبند هستند و بر سنگ زنی بعدی تأثیر می گذارند.

 

 

 

پس از برش ، سنگ زنی تیغه مورد نیاز است ، که شامل سنگ زنی مکانیکی (راندمان پایین ، زبری زیاد ، تا ra {0}}} 2 میکرومتر یا بیشتر) ، پردازش پرتو یونی (راندمان پایین ، سرمایه گذاری بالا. مزیت این است که هیچ ارتباط مستقیمی در طول پردازش ، با دقت بالا ، بالا و 6}}}} {4 اچینگ پلاسما (راندمان بالا ، اما به دمای بالا نیاز دارد) ، سنگ زنی دیسک فلزی داغ (راندمان بالا ، دقت تا RA0.055 میکرومتر ، اما به درجه حرارت بالا نیاز دارد) و اچ کردن پرتو لیزر (راندمان بسیار بالا ، تماس مستقیم ، اما فقط به RA0.5 میکرومتر می رسد). در حال حاضر ، سنگ زنی مکانیکی عمدتاً در چین استفاده می شود ، و بازده کیفیت و سنگ زنی هنوز هم برای پاسخگویی به الزامات دشوار است.

 

پس از برش و سنگ زنی برای دستیابی به شکل تیغه مورد نظر ، اندازه و زاویه هندسی ، سر برش الماس CVD را می توان با جوشکاری یا روش های دیگر به دارنده ابزار یا پد ثابت کرد. برای برش CVD سرهای با بسترهای آلیاژ فلزی یا سخت ، از لحیم نقره معمولی برای جوش استفاده می شود. اگر از سر برش فیلم ضخیم الماس خالص استفاده شود ، از لحیم کاری نقره ای حاوی عناصر تشکیل دهنده کاربید قوی برای جوش استفاده می شود ، مانند آلیاژ مس نقره Ag68.8Cu26.7Ti4.5 حاوی TI ، که نیاز به جوشکاری در گاز بی اثر یا خلاء دارد ، و به دنبال آن درمان آهسته برای کاهش استرس.

 

یکی دیگر از رویکردهای مشابه برای ابزارهای برش CVD ، واریز یک لایه نازک از فیلم الماس در لبه برش ابزارها یا سازه های سر ابزار یا روکش های ساخته شده از مواد بستر مناسب برای رشد فیلم CVD ، مانند SIC و SIN4 است. این ابزارها با روکش های فیلم CVD نیز در هنگام استفاده اثرات مشابهی با ابزارهای برش CVD دارند. شرکت DeBeers قبلاً از ابزارهای روکش شده با الماس مبتنی بر SIC برای تبدیل 18 ٪ میله های آلیاژی Sial استفاده کرده و آنها را با ابزارهای الماس پلی کریستالی (SYNTE) و ابزارهای آلیاژ سخت (K10) در همان شرایط مقایسه کرده است. مشخص شد که عمر سرویس فقط در اختیار ابزارهای الماس پلی کریستالی است اما بسیار بالاتر از ابزارهای آلیاژی سخت است و اثر ماشینکاری بسیار خوب بود.

 

(از دهه 1950 ، هنگامی که Diamond و CBN Superhard Suchrasives مصنوعی سنتز شدند ، محصولات مواد فوق (Diamond ، CBN) توسعه سریع را تجربه کرده اید. اگر به بعد با هم خیره می شوید ، شرکت ما (www.chinadiatools.com) دانش خود را در مورد فرآیندهای تولید الماس و فرمول ها با همه به اشتراک می گذارد. اطلاعات تماس خدمات در وب سایت.)